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便攜式四探針測試儀M-2

便攜式四探針測試儀M-2

M-2型數(shù)字式電阻率測試儀是運用四探針測量原理的多種用途綜合測量裝置,它可以測量片狀,塊狀半導體材料的徑向和軸向電阻率,測量擴散層的薄層電阻(也稱方塊電阻)。換上特制的四探針測試夾具,還可以對金屬導體的低,中值電阻進行測量。
儀器由主機,測試探頭(可選配測試臺)等部分組成,測試結(jié)果用數(shù)字表頭直接顯示。主機主要由數(shù)控恒流源,高分辨率ADC,嵌入式單片機系統(tǒng)組成,自動轉(zhuǎn)換量程。測試探頭采用高耐磨碳化鎢探針制成,定位準確,游移率較小,壽命長。
儀器適用于半導體材料廠,半導體器件廠,科研單位,高等院校對半導體材料的電阻性能的測試。特別適用于要求快速測量中低電阻率的場合.
本儀器工作條件為:
溫度:
相對濕度: 60% ~ 70%
工作室內(nèi)應(yīng)無強電磁場干擾,不與高頻設(shè)備共用電源
二、技術(shù)參數(shù)
1. 測量范圍:
電阻率:10 -2? ~ 102Ω-cm
方塊電阻:10 -1? ~ 103Ω/□
電阻:10 -3? ~ 9999Ω
2. 可測半導體材料尺寸
直徑:15mm-100mm
長(或高)度:≤400mm
3. 測量方位:
軸向,徑向均可
4. 數(shù)字電壓表
量程:2V
誤差: :± 0.1% FSB ± 2LSB
最大分辨力:10μA
精度: 18位ADC ( 5 1/2 位)
顯示:4位數(shù)字顯示,小數(shù)點自動顯示
5. 數(shù)控恒流源
電流輸出: 直流電流 2μA~ 2mA, 2μA步進可調(diào),系統(tǒng)自動調(diào)整。
誤差:± 0.1% FSB ± 0.5LSB
6. 四探針測試探頭:
探針間距: 1mm
探針機械游移率:± 1%
探針:碳化鎢,直徑0.5mm
7.電源:
DC 4.5V ~8V
功耗: < 1W
電源適配器:輸入: 220V±10% 50Hz
輸出:DC5V ± 10%
8. 外形尺寸:
主機: 170mm (長) X 130mm (寬) X50mm(高)

 

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