四探針測試儀是一種精確的電阻率測量儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子和材料科學(xué)領(lǐng)域。本文介紹四探針測試儀的使用方法、誤差來源及其在實際應(yīng)用中的重要性。

四探針測試儀的正確使用步驟

確定四探針測試儀的線纜連接正確，儀器狀態(tài)正常，并進(jìn)行預(yù)熱。

使用螺旋測微器測量圓形單晶硅片的厚度，使有效數(shù)字位數(shù)正確。

使用游標(biāo)卡尺確定測量點，在距圓心本直徑處測量硅片的電阻率。

在距邊緣5mm或6mm處測量碎片電阻率。

對比不同位置所測得的電阻率值。

四探針測試儀的誤差分析

系統(tǒng)誤差可能包括視差、刻度誤差、磨損誤差、接觸力誤差、撓曲誤差、余弦誤差、阿貝誤差、熱變形誤差等。

隨機(jī)誤差則是指在重復(fù)測量過程中出現(xiàn)的不可預(yù)測的誤差。

四探針測試儀的優(yōu)勢

四探針法測量電阻率具有許多優(yōu)點，如無需校準(zhǔn)，有時甚至用于其他方法測量電阻率的校準(zhǔn)。與二探針法相比，四探針法處理數(shù)據(jù)更為簡單，且能同時測量電流值和電壓值，測量結(jié)果更為準(zhǔn)確。

公司產(chǎn)品與服務(wù)

我司提供多種型號的四探針測試儀，如SZT-2c四探針測試儀不僅在國內(nèi)各高校、材料研究實驗室，更是遠(yuǎn)銷海外。在海內(nèi)外科研、生產(chǎn)等領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵且重要的作用。

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